团队研制完成反射式微焦斑X射线管工程样机

中科院复杂航天系统电子信息技术重点实验室先进测量技术团队研制完成了基于静电透镜+双电磁透镜聚焦的反射式微焦斑X射线管工程样机，可实现量产。X射线焦斑直径约5微米左右，X射线光子最大能量30keV，管电流最大400微安，方便更换X射线靶。利用该光源可以在实验室条件下开展高分辨生物透视成像研究，也能够产生13.5nm或者17.1nm高强度极紫外射线，满足于极紫外光刻机标定需要。